半导体切割工艺绿碳化硅细粉,主要基于以下关键原因:绿碳化硅微粉的莫氏硬度可达9.2至9.5,仅次于金刚石、立方氮化硼和碳化硼,在磨料中表现出色。这种高硬度使其能够高效去除半导体等硬脆材料,显著提高切割效率。
绿碳化硅微粉的粒度分布集中且均匀,粒型规则且等积而具刀锋,能够保证切割过程中硅片的表面光洁度和切割能力。粒度分布的均匀性有助于形成稳定的砂浆体系,减少切割过程中的波动,提高切割质量。
绿碳化硅微粉具有良好的化学稳定性,能够抵抗多种腐蚀性介质的侵蚀。在半导体制造过程中,工件表面往往会接触到各种化学试剂和气体,绿碳化硅能够确保在复杂的化学环境中保持材料的稳定性和完整性。
绿碳化硅微粉的耐磨性能优异,是铸铁、橡胶使用寿命的11到20倍。这种耐磨性使得绿碳化硅磨料能够长时间使用而不需要频繁更换,降低了生产成本。
绿碳化硅微粉具有较高的导热系数和较小的热膨胀系数,能够在切割过程中及时散热,减少热损伤,提高切割精度和稳定性。
绿碳化硅微粉与聚乙二醇等切削液有很好的适配性,能够形成稳定的砂浆体系,提高切割效率和切割质量。
高纯度、大结晶的绿碳化硅原材料保证了微粉的优良切割性能和稳定的物理状态,进一步提升了切割效果。
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